• マイクロレンズアレイ
マイクロ光学素子

マイクロレンズアレイ

ガラスやシリコンなどの基板上にNSG独自の有機無機ハイブリッド材料で微細構造を形成し、生産性や信頼性に優れた様々なマイクロ光学素子を提供します。

製品概要

マイクロレンズは数十〜数百マイクロメートルといった大きさの微細なレンズのことです。光通信において光源から出射された光を集めて小さな光ファイバーのコアやセンサーの受光部に効率よく結合させたり、光センシングでは光を所定の角度と強度分布で広げて対象エリアを照らすことなどができます。

レンズアレイはレンズを連続して配置した光学素子のことですが、NSGでは、レンズやその他の形状、大きさ、数、配置等は用途や要望に応じて様々な対応ができます。こうしたマイクロ光学素子は光通信、ITの他、医療、自動車、ファクトリーオートメーションなどの分野でも使用されています。

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マイクロレンズアレイの特徴

(1)オプトロニクス関連製品の開発や生産で培ってきた光学設計技術で、様々なレンズや光学素子を提供できます。
(2)Telcordia規格とリフロー温度300℃以上に対応する高い信頼性と耐熱性を有機無機ハイブリッド技術によって実現します。
(3)NSG独自のプロセスで8インチサイズまでの基板への精密アライメントや、基板上に部分的な微細構造を形成することができます。

精密アライメント(両面レンズ)

精密アライメント(両面レンズ)

部分的な微細構造形成

部分的な微細構造形成

品質と生産性の両立

NSGのマイクロ光学素子は環境に強い有機無機ハイブリッド材料と加工性のよいインプリント技術で、耐環境性と量産加工性を両立しています。
8インチサイズまでの基板に型を使用して構造を形成しますので、大量の光学素子を狙った形状で安定して繰り返し生産できます。

8インチウエハ

8インチウエハ

製品データ

(1)マイクロ光学素子の構造の大きさや形状に適した加工方法で型を作製し、図に示した加工範囲内でマイクロ光学素子を生産します。加工範囲外でも対応できる場合があります。
(2)リフロー試験後にTelcordia規格の各種信頼性試験を行ってもレンズ性能は変わりません。

レンズ加工可能範囲
Focus Position

11個レンズについて、作製直後、リフロー処理後。およびDamp Heat test(85℃ 85%RH)500時間、1000時間、2000時間後の焦点距離を測定した結果(グラフでは、11個分のプロットが重なっている。)

用語一覧

オプトロニクス

Optical Electronicsを短縮した言葉でオプトエレクトロニクスともいいます。光学と電子工学の境界領域にある技術分野です。

Telcordia規格

Telcordiaはアメリカの通信会社AT&Tの電話事業部門が分離して設立した研究開発会社です。発足時の名称はBellcoreでしたが、売却によってTelcordia Technologiesになりました。電気通信分野ではTelcordia規格が標準規格として広く用いられています。

リフロー温度

リフローは基板上の予めクリームはんだを塗ったパッドの上に部品を乗せ、高温の炉でクリームはんだを溶かすことで部品のはんだ付けを行う方法です。 このときの温度は一般に260℃以上になります。

インプリント技術

微細な構造をもった型を用いて、基板上に微細構造を転写して形成する技術です。微細加工を精度よく、繰り返し安定して形成できる量産性に優れた技術です。

Damp Heat test

環境試験の1種で恒温恒湿試験とも呼ばれ、温度や湿度に対する耐久性試験です。

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