微光学元件 miGIO^®

扩散板（Diffuser）

采用 NSG 独有的溶胶-凝胶（Sol-Gel）玻璃材料与压印（Imprint）技术相结合开发而成的高性能、高耐久性扩散板（Diffuser）。广泛应用于投影仪、传感等领域。

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产品概述

通过将 NSG 自主开发的溶胶-凝胶玻璃材料或有机-无机混合材料与压印技术相结合，可制造具有超微细结构和优异耐久性的光学元件。与传统加工工艺相比，压印技术能够以更高品质、更低成本制造扩散板（Diffuser）、衍射光栅（DOE）以及微透镜阵列（MLA）等精密光学部件。

NSG 的扩散板（Diffuser）是在玻璃基板表面形成无数微透镜结构的扩散元件。通过优化微透镜的形状和排列方式，可有效抑制不必要的干涉条纹及亮点（Hot Spot）的产生，并实现多种不同的光扩散图案。
通过将溶胶-凝胶玻璃材料压印到玻璃基板上，可制造全无机材料构成的扩散板（Diffuser）。另一方面，通过将有机-无机混合材料压印到玻璃基板上，则能够制造出采用纯无机材料难以实现的广角扩散板（Diffuser）。

采用NSG自主材料的扩散板（Diffuser）

针对玻璃基板压印成型应用，NSG可根据客户需求，从自主开发的溶胶-凝胶玻璃材料和有机-无机杂化材料中提供最适合的材料方案。

其中，溶胶-凝胶玻璃材料的耐热温度超过500℃，有机-无机杂化材料的耐热温度超过330℃。两种材料均具有优异的耐热性能，可适用于回流焊等半导体制造工艺。同时，还具备优良的耐化学性、耐激光性以及低热膨胀系数等机械特性。

溶胶-凝胶玻璃材料的透过波长范围为200～2,000 nm，有机-无机杂化材料的透过波长范围为400～2,000 nm，可广泛应用于可见光至近红外波段。

微透镜型高性能扩散板（Diffuser）

该扩散板（Diffuser）在玻璃基板表面形成大量微透镜结构，通过微透镜的折射作用实现高效光扩散，并保持较高的透光率。
通过精确控制微透镜形状，可实现平顶型（Flat-Top）、蝙蝠翼型（Batwing）等多种光强分布。同时，通过优化微透镜排布，可有效抑制干涉条纹及亮斑（Hot Spot）的产生。

此外，还可提供带电极扩散板（Diffuser）等定制化设计方案。

用于激光投影机的散斑抑制

扩散板（Diffuser）广泛用于投影显示系统中的激光散斑（Speckle）抑制。针对不断提升的激光功率需求，NSG可提供具有优异耐热性能的扩散板（Diffuser）产品。
通过结合NSG自主开发的溶胶-凝胶玻璃材料与精密压印技术，实现兼具高耐久性和高透过率的扩散板（Diffuser）。

压印制造工艺

压印是一种利用模具和液态材料成型零部件的制造技术。成型过程包括预处理、成型、脱模和后处理四个步骤。
根据所使用的材料不同，部分成型工艺有所差异。其中，溶胶-凝胶材料采用热固化方式，有机-无机杂化材料采用紫外光（UV）固化方式。

高精度且具有优异生产效率的压印技术

采用模具进行压印成型，可兼顾稳定的产品质量和优异的量产能力。
利用通过激光直写和电子束（EB）曝光等技术制造的高精度模具，可在最大8英寸的大面积基板上一次性形成光学元件。

光扩散特性示例

不同应用对照射形状、扩散角度及光强分布的要求各不相同。例如，对于ToF（Time of Flight）相机用扩散板（Diffuser），其照射区域通常为矩形，因此照明视场需要与相机视场相匹配。
NSG的微透镜型扩散板（Diffuser）可通过调整透镜形状和透镜排布，实现多种不同的扩散特性。

ToF（Time of Flight）相机用照明装置

ToF（Time of Flight）相机通过测量设备发出的光照射到目标物后返回设备所需的时间，计算设备与目标物之间的距离。
用于此类系统的照明装置需要对测量区域（即相机视场范围内）进行尽可能均匀且高亮度的照明。由于光源（通常为激光器）的发射角通常仅为数度至约20度，因此无法直接覆盖整个相机视场。
通过使激光光束通过扩散板（Diffuser）并扩展至所需发射角度，可实现相机视场范围内的距离测量。