Micro Optical Elements

～ miGIO^®～

拡散板

回折格子/DOE

マイクロレンズアレイ

マイクロ光学素子miGIO^®は、日本板硝子のつよみである、
材料開発力、インプリント製造技術、光学設計能力を組み合わせることで実現した製品です。
高い耐久性、高精度、量産性に優れるという特長を持っており、リフロー工程（330℃）にも対応しています。
さらに500℃以上の耐熱性を持つゾルゲルガラスでの製作も可能です。
日本板硝子では、光学設計から製品の量産までの一貫対応を行っており、光学課題を解決してまいります。

部品の用途例

マイクロ光学素子miGIO^®は高耐久、高精度、優れた量産性を活かして、光学機器や医療機器、産業機器、自動車、光通信など様々な分野で使用されております。

用途 1

プロジェクター

レーザー出力が上がる中で、スペックル対策として高耐熱の拡散板をご使用頂いております。97%の透過率でプロジェクター輝度にも貢献しております。

用途 2

分析装置

利用効率90%以上の高効率な回折格子をご使用いただいております。ガラス材料で、高耐熱、高耐久なカスタム品が製作可能です。

用途 3

LiDAR

標準の樹脂では成立しえない環境でも、当社の有機無機ハイブリッド材料はご使用いただけます。インプリントでの製作となり、高精度な量産ができます。

マイクロ光学素子miGIO^®

ポイント 1

耐久性に優れた材料

独自開発した、ゾルゲルガラス、有機無機ハイブリッド材料を保有。
高い耐熱性、耐薬品性、耐候性、低熱膨張性が特長。
Tecordia規格や330℃のリフローにも対応可能。

ポイント 2

精度と量産性の両立

モールドを使ったインプリント製法により、品質安定性、量産性に優れる。
最大8インチの大面積に一括で光学素子を形成可能。
ウェハーとのアライメント精度は±1μm以下。ウェハーの必要箇所にだけ光学素子を形成可能。

ポイント 3

高い光学設計能力

拡散板、DOE（回折格子）、MLA、モスアイなどさまざまな光学素子の設計、製造が可能。
お客様のお困りごとに合わせ、日本板硝子の光学設計エンジニアが光学素子を設計可能。

拡散板

拡散板の主な仕様

基本的な仕様は以下の通りですが、仕様外のご要望ございましたら、お気軽にお問い合わせください。

	有機無機ハイブリッド	ゾルゲルガラス
拡散角度	～120°程度	～20°程度
角度ばらつき	±2°（70°のもの）	±0.2°（3°のもの）
透過率	97%程度	97%程度
波長	400～2,000nm程度	200-2,500nm程度
耐熱温度	330℃程度	500℃程度～

	有機無機ハイブリッド
拡散角度	～120°程度
角度ばらつき	±2°（70°のもの）
透過率	97%程度
波長	400～2,000nm程度
耐熱温度	330℃程度

	ゾルゲルガラス
拡散角度	～20°程度
角度ばらつき	±0.2°（3°のもの。）
透過率	97%程度
波長	200-2,500nm程度
耐熱温度	500℃程度～

※一般的な仕様であり、ご使用条件により、変化します。

拡散板の製作事例

耐熱性、耐レーザー性の高いゾルゲルガラスまたは有機無機ハイブリッドのインプリントにて製作します。当社で光学設計の対応もできます。電極付き拡散板など、特殊用途での製作検討も可能です。

拡張パターンの例（1）
円形95度、フラットトップ

拡張パターンの例（2）
円形50度、バットウィング

拡張パターンの例（3）
矩形82×64度、バットウィング

拡張パターンの例（4）
矩形72×56度、バットウィング

拡張パターンの例（5）
矩形44×16度、フラットトップ

回折格子/DOE

回折格子の仕様例・製作事例

下記、仕様例・製作事例となりますが、様々な回折格子（グレーティング・DOE）を製作可能ですので、事例外の製品依頼につきましてもお問い合わせください。
高耐熱、高耐久のゾルゲルガラスは、高温下で使用される機器にご使用いただいております。

材料	ゾルゲルガラス
最小ピッチ	190nm（5,200本/mm程度）
タイプ	透過型、反射型
コーティング	Al, Auなど
形状	ブレーズ、格子など
基板	各種ガラス
耐熱温度	500℃程度～

	事例①	事例②	事例③
本数（本/mm）	300	2000	pitch1μm
タイプ	反射型	透過型	DOE
コーティング	Au	-	-
形状	ブレーズ	矩形	16step
基板	合成石英	Tempax Float^®	D263Teco^®
利用効率	85%	90%	80%