miGIO™ 微型光學元件是結合日本板硝子在材料研發、壓印製造技術以及光學設計方面的核心優勢所實現的產品。
其具備高耐久性、高精度與優異的量產能力，並可對應最高 330℃ 的回流製程。
此外，也可提供**耐熱溫度超過 500℃ 的溶膠凝膠玻璃（sol-gel glass）製作選項。
日本板硝子提供從光學設計到量產製造的一站式（end-to-end）服務，致力於為各種光學課題提供最佳解決方案。
應用範例
miGIO™ 微型光學元件憑藉其高耐久性、高精度與優異的量產能力，被廣泛應用於光學設備、醫療器材、工業設備、汽車應用及光通訊等各種產業。
範例一
投影機
（Projectors）
隨著雷射輸出功率持續提升，我們的高耐熱性擴散片被採用為有效的散斑抑制解決方案。其97% 的高穿透率亦有助於維持投影機的高亮度表現。
範例二
分析儀器
（Analytical Instruments）
高效率繞射光柵，其利用效率超過 90%，已廣泛應用於分析儀器中。可提供以玻璃材料製作的客製化產品，具備優異的耐熱性與長期耐用性。
範例三
LiDAR
在一般樹脂材料無法滿足性能需求的嚴苛環境中，可採用本公司的有機-無機混合材料及玻璃材料。透過壓印製程（imprint technology）製造，實現高精度的量產能力。
miGIO™微型光學元件
重點一
高耐久材料
- 日本板硝子自主研發並擁有溶膠凝膠玻璃（sol-gel glass）及有機-無機混合材料等專有材料。
- 這些材料具備優異的耐熱性、耐化學性、耐候性以及低熱膨脹特性。
- 可符合 Tecordia 規範，並支援最高 330℃ 的回流製程。
重點二
高精度與量產能力的兼顧
- 透過模具式壓印製造技術（imprint manufacturing technology），實現穩定的品質一致性與優異的量產擴展性。
- 可於最大 8 吋的大面積上同步形成光學元件。
- 晶圓對位精度可達 ±1 µm 或更佳，使光學元件僅形成於晶圓所需位置。
重點三
先進的光學設計能力
- 我們提供多樣化光學元件的設計與製造服務，包含擴散片、DOE（繞射光學元件）、MLA（微透鏡陣列）以及蛾眼結構。
- 日本板硝子的光學設計工程師可與客戶密切合作，依據具體課題與需求設計最適化的光學元件。
01
擴散板
擴散片的主要規格
以下為基本規格說明。若有超出上述規格的需求，歡迎隨時與我們聯繫。
| 有機-無機混合材料 | 溶膠凝膠玻璃 | |
|---|---|---|
| 擴散角度 | 約可達 120° | 約可達 20° |
| 角度離散度 | ±2°（70° 規格） | ±0.2°（3° 規格） |
| 透過率 | 約 97% | 約 97% |
| 波長範圍 | 約 400-2,000 nm | 約 200-2,500 nm |
| 耐熱溫度 | 330℃ | 500℃ |
| 有機-無機混合材料 | |
|---|---|
| 擴散角度 | 約可達 120° |
| 角度離散度 | ±2°（70° 規格） |
| 透過率 | 約 97% |
| 波長範圍 | 約 400-2,000 nm |
| 耐熱溫度 | 330℃ |
| 溶膠凝膠玻璃 | |
|---|---|
| 擴散角度 | 約可達 20° |
| 角度離散度 | ±0.2°（3° 規格） |
| 透過率 | 約 97% |
| 波長範圍 | 約 200-2,500 nm |
| 耐熱溫度 | 500℃ |
上述規格為一般性參考，實際數值可能會依使用條件而有所變動。
擴散片之製作實績
採用玻璃壓印技術，並使用具備優異耐熱性與耐雷射特性的溶膠凝膠玻璃或有機-無機混合材料製造。同時，我們也提供內部光學設計支援。
此外，亦可針對特殊應用需求進行客製化開發，例如具電極之擴散片等。
擴散圖樣範例（1）
圓形，95°，平頂型（Flat-top）
擴散圖樣範例（2）
圓形，50°，蝙蝠翼型（Batwing）
擴散圖樣範例（3）
矩形，82° × 64°，蝙蝠翼型（Batwing）
擴散圖樣範例（4）
矩形，72° × 56°，蝙蝠翼型（Batwing）
擴散圖樣範例（5）
矩形，44° × 16°，平頂型（Flat-top）
02
繞射光柵/DOE
繞射光柵之規格範例與製作實績
以下為部分代表性的規格範例與製作實績。
本公司可製作各式各樣的繞射光柵及 DOE（繞射光學元件）。
如有未列示之客製化產品或特殊需求，歡迎隨時與我們聯繫。
我們具有高耐熱與高耐久性的溶膠凝膠玻璃，被廣泛應用於在高溫環境下運作的設備中。
| 材料 | 溶膠-凝膠玻璃 |
|---|---|
| 最小間距 | 190 nm（約 5,200 條/mm） |
| 類型 | 透射型、反射型 |
| 鍍膜 | Al、Au 等 |
| 結構 | 斜面型（Blazed）、光柵等 |
| 基板 | 各種玻璃 |
| 耐熱溫度 | 500℃ |
| 事例① | 事例② | 事例③ | |
|---|---|---|---|
| 線密度（條/mm） | 300 | 2000 | pitch1μm |
| 類型 | 反射型 | 透射型 | DOE |
| 鍍膜 | Au | - | - |
| 結構 | 斜面型（Blazed） | 矩形 | 16 階 |
| 基板 | 合成石英 | Tempax Float® | D263Teco® |
| 利用效率 | 85% | 90% | 80% |
| 事例① | |
|---|---|
| 線密度（條/mm） | 300 |
| 類型 | 反射型 |
| 鍍膜 | Au |
| 結構 | 斜面型（Blazed） |
| 基板 | 合成石英 |
| 利用效率 | 85% |
| 事例② | |
|---|---|
| 線密度（條/mm） | 2000 |
| 類型 | 透射型 |
| 鍍膜 | - |
| 結構 | 矩形 |
| 基板 | Tempax Float® |
| 利用效率 | 90% |
| 事例③ | |
|---|---|
| 線密度（條/mm） | pitch1μm |
| 類型 | DOE |
| 鍍膜 | - |
| 結構 | 16 階 |
| 基板 | D263Teco® |
| 利用效率 | 80% |
上述規格為一般性參考，實際數值可能會依使用條件而有所變動。
03
MLA (Micro Lens Array)
微透鏡陣列（MLA）製作實績範例
以下為部分代表性的製作實績，實際上可對應各式各樣的微透鏡陣列（MLA）之設計與製造需求，歡迎洽詢客製化設計與規格。
本產品之製作對位精度可達 ±1μm以下，並可對應回流（Reflow）製程。
廣泛應用於光通訊等多元領域。
| 材料 | 有機-無機混合材料 | 有機-無機混合材料 |
|---|---|---|
| 間距 | 127μm | 250μm |
| 鏡片直徑 | 120μm | 200μm |
| レンズ数 | 1 x 72ch | 2 x 12ch |
| 材料 | 有機-無機混合材料 |
|---|---|
| 間距 | 127μm |
| 鏡片直徑 | 120μm |
| 鏡片數量 | 1 x 72ch |
| 材料 | 有機-無機混合材料 |
|---|---|
| 間距 | 250μm |
| 鏡片直徑 | 200μm |
| 鏡片數量 | 2 x 12ch |
04
其他
其他印模技術之應用案例
Lens on Wafer（LoW）
透過印模製程直接於半導體晶圓上形成透鏡之技術。可免除繁複的對位（調心）作業，實現產品薄型化，並可對應回流（Reflow）製程。
精密結構體
印模技術亦可應用於光學用途以外，製造各式高精度零組件。此製造方式具備優異的量產能力，同時實現高精度與高量產性的兼顧。
核心技術
印模技術是利用模具將其形狀轉寫到元件上的技術。
印模製程範例
從設計到量產的一站式服務
日本板硝子（Nippon Sheet Glass）提供從光學設計到量產製造的全流程支援。
除光學元件製作外，亦可依需求提供元件表面之 AR（抗反射）鍍膜等附加加工服務。
設計
光學設計
結構設計
模具
切削加工
雷射描寫
電子束描寫（EB）
自有材料
高精度
高耐久性
大尺寸模具
鏡片
形狀精度
高附著性
低殘留應力
高可靠性
回流焊耐熱性
低吸水性
耐化學性
成形
對位
厚度控制
定點成形
微影製程
雙面成形
搬運
功能型晶圓
具圖案基板
超薄基板
脆弱基板
8 吋晶圓
附加加工
薄膜沉積
切割
旋轉清洗
檢查
光學特性
位置精度
厚度
外觀
自動檢測
數據映射
設計
依據客戶多樣化的需求與規格，提供光學設計及結構設計服務。
模具製作
採用最適合各項需求的製程方式製作模具。高精度模具可對應大尺寸製作，且具備優異的耐久性，適合量產應用。
鏡片材料
本公司自主開發之有機-無機複合材料可實現高精度形狀轉寫，並具備包含超過 330℃ 回流耐熱性在內的優異耐久性能。
印模／成形
可於玻璃、半導體晶圓等各類基板上成形透鏡等光學元件。可進行對位控制或指定位置（On-target）成形，且可自由設定不塗佈樹脂之區域。
搬運與保護
即使為具備圖案之功能性晶圓或薄型且易碎的基板，亦可在保護狀態下進行加工。
附加加工
可依客戶需求提供鍍膜、切割、清洗等附加加工服務。
檢查
針對光學特性、位置精度、厚度及外觀等主要檢查項目，使用自動化檢測設備進行評估，並可將結果進行數據化與圖像化分析。
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